Standard: ASTM B 708-2001
Dimension: Φ (25-400) mm * (3-28) mm
Matériel: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2.5W), RO5255 (Ta-10W)
Cibles circulaires: 25mm Diamètre jusqu'à une épaisseur de 3mm x 400mm jusqu'à 28mm
Cibles rectangulaires: 1mm d'épaisseur allant jusqu'à 12,7 mm Largeur x Longueur x jusqu'à 600mm jusqu'à 2000mm
Pureté:> = 99,95% ou 99,99%
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Grade |
3N, 3N5, 4N, with Ta 99.99%min |
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Recrystallization |
95%min |
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Grain size |
ASTM 4 or finer |
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Surface finish |
16Rms max. or Ra 0.4 ( RMS64 or better) |
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Flatness |
0.1mm or 0.15% max |
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Tolerance |
+/-0.010" on all dimensions |
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Chemistry ppm |
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Designation |
Chief component |
Impurities maxmium |
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Ta |
Nb |
Fe |
Si |
Ni |
W |
Mo |
Ti |
O |
C |
H |
N |
|
|
Ta1 |
Remainder |
300 |
40 |
30 |
20 |
40 |
40 |
20 |
150 |
40 |
15 |
20 |
|
Ta2 |
Remainder |
800 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
|
TaNb3 |
Remainder |
＜35000 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
|
TaNb20 |
Remainder |
170000- 230000 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
|
Ta2.5W |
Remainder |
400 |
50 |
30 |
20 |
30000 |
60 |
20 |
150 |
50 |
15 |
60 |
|
Ta10W |
Remainder |
400 |
50 |
30 |
20 |
110000 |
60 |
20 |
150 |
50 |
15 |
60 |
Matériel de tantale
Cible de titane
Cible Nickel
Cible de tungstène
Cible de molybdène
Cible de niobium
Cible de zirconium
