Стандарт: ASTM B 708-2001
Размеры: Φ (25-400) мм * (3-28) мм
Материал: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2.5W) RO5255 (Ta-10W)
Циркуляр цели: диаметр 25 мм до 400 мм х 3 мм толщиной до 28 мм
Прямоугольные цели: толщина 1 мм до 12,7 мм Ширина х до 600 мм Длина до 2000 мм
Чистота:> = 99,95% и 99,99%
Grade |
3N, 3N5, 4N, with Ta 99.99%min |
Recrystallization |
95%min |
Grain size |
ASTM 4 or finer |
Surface finish |
16Rms max. or Ra 0.4 ( RMS64 or better) |
Flatness |
0.1mm or 0.15% max |
Tolerance |
+/-0.010" on all dimensions |
Chemistry ppm |
||||||||||||
Designation |
Chief component |
Impurities maxmium |
||||||||||
Ta |
Nb |
Fe |
Si |
Ni |
W |
Mo |
Ti |
O |
C |
H |
N |
|
Ta1 |
Remainder |
300 |
40 |
30 |
20 |
40 |
40 |
20 |
150 |
40 |
15 |
20 |
Ta2 |
Remainder |
800 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
TaNb3 |
Remainder |
<35000 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
TaNb20 |
Remainder |
170000- 230000 |
100 |
100 |
50 |
200 |
200 |
50 |
200 |
100 |
15 |
100 |
Ta2.5W |
Remainder |
400 |
50 |
30 |
20 |
30000 |
60 |
20 |
150 |
50 |
15 |
60 |
Ta10W |
Remainder |
400 |
50 |
30 |
20 |
110000 |
60 |
20 |
150 |
50 |
15 |
60 |
Материал Тантал
Титановой мишени
Никель Целевая
Вольфрамовой мишени
Молибден Целевая
Ниобий Целевая
Цирконий Целевая